Prof. Dr. Henry I. Smith

Aktuelle Kontaktadresse

Land	USA
Ort	Cambridge
Universität/Institution	Massachusetts Institute of Technology
Institut/Abteilung	Department of Electrical Engineering and Computer Science

Fachgebiet	Quantenoptik,Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Keywords	Zonenplatten, freitragende Nanostrukturen, Elektronenstrahllithographie, He-Atomstrahlen, Strukturübertragung