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- {{#headlines}}
- {{title}} {{/headlines}}
Aktuelle Kontaktadresse
| Land | USA |
|---|---|
| Ort | Gaithersburg |
| Universität/Institution | National Institute of Standards and Technology |
| Institut/Abteilung | Physical Measurement Laboratory (PML); Semiconductor and Dimensional Metrology Division (SDMD) |
Profil
| Fachgebiet | Optik, Quantenoptik und Physik der Atome, Moleküle und Plasmen,Automatisierungstechnik, Mechatronik, Regelungssysteme, Intelligente Technische Systeme, Robotik,Werkstofftechnik |
|---|---|
| Keywords | through-focus scanning optical microscopy (TSOM), nanoscale 3D metrology, nanotechnology nanomanufacturing, optical microscope, high-throughput process control |