Prof. Dr. Wei Zhang

Aktuelle Kontaktadresse

Land	China, VR
Ort	Shanghai
Universität/Institution	Fudan University
Institut/Abteilung	Department of Microelectronics

Fachgebiet	Elektronische Halbleiter, Bauelemente und Schaltungen, Integrierte Systeme, Sensorik, Theoretische Elektrotechnik
Keywords	integrated circuit processing and technology, nano-device, atomic layer deposition, Copper metallization, Interconnection, Low Dielectric Constant Materials